目前的超精細(xì)加工，以不改動(dòng)工件資料物理特性為前提，以取得極限的形狀精度、尺度精度、外表粗糙度、外表完整性(無或很少的外表損害，包括微裂紋等缺點(diǎn)、殘余應(yīng)力、安排變化)為目標(biāo)。

超精細(xì)加工的研討內(nèi)容，即影響超精細(xì)加工精度的各種因素包括：超精細(xì)加工機(jī)理、被加工資料、超精細(xì)加工設(shè)備、超精細(xì)加工東西、超精細(xì)加工夾具、超精細(xì)加工的檢測與誤差補(bǔ)償、超精細(xì)加工環(huán)境(包括恒溫、隔振、潔凈操控等)和超精細(xì)加工工藝等。一直以來，國內(nèi)外學(xué)者圍繞這些內(nèi)容展開了體系的研討。超精細(xì)加工的開展閱歷了如下三個(gè)階段。

1）20世紀(jì)50年代至80年代，美國率先開展了以單點(diǎn)金剛石切削為代表的超精細(xì)加工技能，用于航天、國防、地理等范疇激光核聚變反射鏡、球面、非球面大型零件的加工。

2）20世紀(jì)80年代至90年代，進(jìn)入民間工業(yè)的使用初期。美國的摩爾公司、普瑞泰克公司，日本的東芝和日立，以及歐洲的克蘭菲爾德等公司在政府的支持下，將超精細(xì)加工設(shè)備的商品化，開端用于民用精細(xì)光學(xué)鏡頭的制作。單超精細(xì)加工設(shè)備仍然稀疏而昂貴，主要以專用機(jī)的方式訂制。在這一時(shí)期還呈現(xiàn)了可加工硬質(zhì)金屬和硬脆資料的超精細(xì)金剛石磨削技能及磨床，但其加工效率無法和金剛石車床相比。

3）20世紀(jì)90年代后，民用超精細(xì)加工技能逐步老練。在汽車、能源、醫(yī)療器材、信息、光電和通信等工業(yè)的推動(dòng)下，超精細(xì)加工技能廣泛使用于非球面光學(xué)鏡片、超精細(xì)模具、磁盤驅(qū)動(dòng)器磁頭、磁盤基板、半導(dǎo)體基片等零件的加工。跟著超精細(xì)加工設(shè)備的相關(guān)技能，例如精細(xì)主軸部件、翻滾導(dǎo)軌、靜壓導(dǎo)軌、微量進(jìn)給驅(qū)動(dòng)裝置、精細(xì)數(shù)控體系、激光精細(xì)檢測體系等逐步老練，超精細(xì)加工設(shè)備成為工業(yè)界常見的出產(chǎn)設(shè)備。此外，設(shè)備精度也逐步挨近納米級水平、可加工工件的尺度范圍也變得更大，使用越來越廣泛。跟著數(shù)控技能的開展，還呈現(xiàn)了超精細(xì)五軸銑削和飛切技能。已經(jīng)能夠加工非軸對稱非球面等復(fù)雜零件